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测量真空泵漏率的方法

点击次数:   更新时间:18/08/09 10:06:08     起源:sortcph.com关闭分    享:
  真空泵漏率测量的措施是以示漏物质夜盖被橙容器的全部可疑区或者被检容器内充人示漏物质,另一侧抽真空或是大气;或是在被检容器的内外两侧形成压差或示漏物质的浓度差,在低压或低浓度侧侧2示漏物质的漏率和浓度变更。
  1、加压条件下容器漏率的测定
  在加压条件下测童容器漏率的方法有:气泡法、超声法、气敏半导体检漏仪法、氨检漏法、卤素检漏仪法、氮质谱检漏仪法等。
  2、真空条件下容器漏率的测定
  ①利用接人真空容器的真空规、离子泵及残气分析质谱计来测定容器的漏率。
  ②可以选用流盆测量、压力测量、卤素检漏仪以及氮质谱检漏仪等方法来测全漏率。
  3、密封件的无损检漏
  ①尽量利用密封件上可用来唆使密封器件内部压力和示漏物质分压力的规管和残气分析质谱计等进行检漏。
  ②有些本来不是测量压力的装置,如:电子管、显像管等,若更换馈电方法,将其电极接成电离规的方法,测全出管内离子流的变更,便可知管内压力的变更率。大批量生产这类器件时,可以通过校准的方法把离子流的变更率直接换算成漏率。
  ③如果密封件内部具有可作为示漏的物质时,采用动态法或静态法对漏到外面的示漏物质进行检测,就可测出漏孔来。通常这类密封件内部的示漏气体的分压力要比采用背压法时的压力为高。因此,检漏敏锐度高,费用低。
  ④背压法检漏实用于成批生产小型密封件时的检漏;可以应用卤素检漏仪,氮质谱检漏仪,放射性同位素等检漏方法和仪器。
  平时我们在对真空泵漏率进行测量的时候,不仅要做好整体的应用效果,更要在应用期间,对他进行正确的测量,做好应用。
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